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北方华创请求用于半导体工艺设备尾气排放设备专利能防备副产物在尾气管口堆积
发表时间： 2025-01-28 07:22:34 来源：废气治理
金融界2024年11月27日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京北方华创微电子配备有限公司请求一项名为“用于半导体工艺设备的尾气排放设备及半导体工艺设备”的专利，公开号 CN 119020856 A，请求日期为2023年5月。
专利摘要显现，本发明公开了一种用于半导体工艺设备的尾气排放设备及半导体工艺设备，该设备包括：加热设备，加热设备沿环形对接件的周向设置于环形对接件的外壁，加热设备用于对尾气出口28处的工艺尾气加热；排气管，排气管的第一端与尾气出口衔接；抽气设备，抽气设备与排气管的第二端衔接。本发明能防备副产物在尾气口堆积，进步工艺质量。
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