证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理设备及其气体喷淋环的制造的进程”，专利申请号为CN3.2，授权日为2024年12月10日。

  专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理设备及其气体喷淋环的制造的进程，该设备包含：真空反响腔；上电极组件，坐落真空反响腔顶部；下电极组件，坐落真空反响腔底部，所述下电极组件和上电极组件相对设置，所述下电极组件包含一承载面，用于承载晶圆；气体喷淋环，盘绕设置鄙人电极组件的外侧，所述气体喷淋环包含若干个气体供给孔，所述气体供给孔与一反响气体运送设备相连，用于将反响气体运送到所述真空反响腔内部，以在所述上电极组件和所述下电极组件之间发生等离子体。其长处是：该设备经过气体喷淋环完成反响气体的运送，不会由于上电极组件等的设备误差使反响气体的运送不均匀从而影响刻蚀作用，较大程度的提升了等离子体处理设备的运用稳定性。

  本年以来中微公司新取得专利授权116个，较去年同期减少了22.15%。结合公司2024年中报财务数据，本年上半年公司在研制方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

  证券之星估值剖析提示中微公司盈余才能平平，未来营收成长性一般。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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