上一年，咱们接到上海一家半导体规划公司的电话咨询，这家企业共有九条出产线，五条已建，四条拟建，包含晶圆五颜六色滤光片和微镜头封装出产线，出产时需要用有机溶液对晶片标明上进行清洗，蒸发一部分有机废气，还有酸碱废气，无法合格排放，提出增设废气处理设备需求。

  履行规范：《工业公司蒸发性有机物排放操控规范》（DB12/524-2020）

  废气经主工艺风机运送至沸石转轮，废气中的VOCs被沸石吸附后合格排放至大气中，由脱附风机运送的热空气将VOCs从沸石中脱附出来，再由TO风机运送至TO反应器中，被氧化成CO2和H2O，合格排放至大气中。

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