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关于芯片出产废气处理办法我有话说
发表时间: 2024-09-24 14:39:21 来源:工程案例
近来,可迪尔项目一线传来喜讯,咱们又一芯片出产废气处理项目完结检验,一同来看!
业主是江苏省一家从事芯片研制、出产、出售和服务的企业,现在具有一条5英寸与6英寸芯片出产线。在芯片出产的悉数过程中车间发生大风量低浓度有机废气,风量为40000m³/h,浓度为200mg/m³,主要成分是异丙醇、丙酮、混合二甲苯。
芯片出产废气经主工艺风机进入前处理,去除酸性气体、大颗粒物及对沸石转轮有害于人体健康的物质,预处理之后的芯片出产废气随后输送至转轮吸附浓缩设备,芯片废气中的VOCs成分被沸石吸收后合格排放。沸石转轮吸附的VOCs物质经高温脱附进入三塔RTO,高浓度废气在RTO中被加热至800℃以上,焚烧成为二氧化碳和水,排放至大气。
经芯片出产废气处理办法后的挥发性有机物排放浓度低于20mg/m³,现在已顺畅投产,并安稳运转。芯片出产废气检验标志着可迪尔在芯片出产废气处理范畴的专业方面技能实力再获认可,完成了企业环境保护和经济发展的双赢,让咱们一同走进现场为芯片出产废气处理项目喝彩!
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